Popis produktov

Alumina Ceramic Deposition Rings slúžia ako kritické spotrebné komponenty v rámci reakčných komôr základných zariadení zariadení na chemickú depozíciu z plynnej fázy (CVD) a PVD (PVD)-pri výrobe polovodičových čipov. Ich výber materiálu a požiadavky na aplikáciu sú mimoriadne prísne. Typicky sa inštalujú okolo nosičov plátkov (elektrostatických skľučovadiel) a tvoria časť reakčného priestoru procesu. V náročnom prostredí výroby polovodičov je primárnou úlohou depozičného krúžku chrániť drahé komponenty jadra (ako sú elektrostatické skľučovadlá) pred kontamináciou a ukladaním vedľajších produktov procesu, zabezpečiť jednotnosť procesu a udržiavať čistotu a stabilitu komory.

Ceramic Deposition Rings

Výkon produktu

Výnimočná odolnosť proti korózii: Schopný odolávať erózii rôznych korozívnych, vysoko reaktívnych plazmových plynov (napr. plyny na báze fluóru -a chlóru-) používaných v procesoch CVD/PVD, čím sa zabezpečuje predĺžená životnosť.
Vynikajúca odolnosť voči vysokým{0}}teplotám: Zachováva štrukturálnu stabilitu a výkonnosť pri procesných teplotách dosahujúcich stovky alebo dokonca tisíce stupňov Celzia bez deformácie alebo roztavenia, čím demonštruje svoje vlastnosti ako vysokoteplotná -hlinitá keramika.
Vysoká čistota a nízka kontaminácia: Keramika z oxidu hlinitého s vysokou{0}}čistotou (napr. 99,9 % alebo vyššia) minimalizuje uvoľňovanie kontaminantov, ako sú kovové ióny, zo samotného materiálu do procesnej komory pri vysokých-teplotách a podmienkach plazmy, čím zabraňuje kontaminácii plátkov. Polovodičové-aplikácie sledujú maximálnu čistotu 99,99 % keramiky z oxidu hlinitého.
Vynikajúca mechanická pevnosť a tvrdosť: Má dostatočnú tuhosť na udržanie rozmerovej stability a zároveň odoláva mechanickému namáhaniu a inštalačným silám. Robustné mechanické vlastnosti tvoria základ pre všetky formy,-či už ide o hliníkové keramické platne, hliníkové keramické tyče (hliníkové tyče) alebo hliníkové rúrky.
Vynikajúca izolácia: Keramika z oxidu hlinitého ako izolačný materiál nezasahuje do funkcie priľnavosti elektrostatického skľučovadla pre doštičky, čím zaisťuje bezpečnosť a stabilitu procesu.
Stredná tepelná vodivosť: Pomáha homogenizovať teplotné pole v komore a zároveň zabraňuje prehriatiu. Toto je cenná vlastnosť pre komponenty na odvádzanie tepla, ako sú keramické substráty z oxidu hlinitého alebo keramické chladiace dosky.
Vysoká presnosť a opracovateľnosť: Prostredníctvom pokročilých techník tvárnenia keramiky a presného obrábania možno dosiahnuť zložité tvary s výnimočnou rozmerovou presnosťou a povrchovou úpravou.

ceramicstimes performance parameter

Aplikácia produktu

Suroviny: Vyžaduje sa jemný práškový oxid hlinitý, najmä pre keramiku z oxidu hlinitého s vysokou{0}}čistotou. Oxid hlinitý (Al2O3) je základná chemikália.
Formovanie a spekanie: Zahŕňa výrobcov hliníkovej keramiky, ktorí používajú techniky na výrobu hliníkových keramických polotovarov, ako sú hliníkové bloky, hliníkové platne (hliníkové plechy), hliníkové rúrky (al2o3 rúrky) a hliníkové disky.
Presné obrábanie: Vykonávané špecialistami na obrábanie keramiky z oxidu hlinitého alebo dodávateľmi dielov, transformujúc polotovary na konečné komponenty, ako sú keramické platne z oxidu hlinitého, keramické tyče z oxidu hlinitého alebo zložité konštrukčné diely z keramiky z oxidu hlinitého.
Iné formy a aplikácie: Okrem nanášacích krúžkov má aluminová keramika rôzne polovodičové využitie, ako sú hliníkové keramické substráty (al2o3 substrát) na balenie, hliníkové keramické membrány a trubice z hliníkových vlákien na izoláciu.

Certifikáty a vyznamenania

Naši odborníci majú 20 rokov skúseností v oblasti výskumu a vývoja v oblasti nezávislého vývoja a výroby pokročilých keramických materiálov a presnej keramiky, čím dosahujú štandardy svetovej-triedy. Sme uznaní ako National High-Tech Enterprise a sme popredným talentovým projektom v meste Shaoxing, známom ako „rodné mesto učencov“.

Prísne dodržiavame systém riadenia kvality ISO 9001, aby sme zabezpečili konzistentnosť:

100% kontrola surovín
Pokročilé výrobné linky na lisovanie za tepla-
Vlastné{0}testovanie: hustota, tvrdosť, analýza mikroštruktúry
Certifikácie tretích{0}}stran (SGS, CE, ROHS sú k dispozícii na požiadanie)

certificates

honors

továrenská sila

Disponujeme pokročilými technickými odbornými znalosťami v oblasti spekania, tvarovania, brúsenia, CNC obrábania, laserového vŕtania, brúsenia a leštenia, čo nám umožňuje prispôsobiť rôzne keramické výrobky podľa špecifikácií zákazníka. Naše digitálne dielne a inteligentné továrne vybavené systémami zberu údajov v-reálnom čase využívajú princípy štíhlej výroby na minimalizáciu odpadu a maximalizáciu efektívnosti zdrojov. Integráciou technológie CNC obrábania, priemyselného internetu vecí a automatizovaných riadiacich systémov dosahujeme bezproblémovú konektivitu a spoluprácu medzi výrobnými zariadeniami, čím maximalizujeme výrobné úspory.

Factory