Komorová vložka

Popis produktov

V špičkovej-oblasti výroby polovodičov slúžia keramické vložky komôr z oxidu hlinitého ako výstelka a spotrebný materiál jadra pre komory kritických procesov. Vďaka svojim výnimočným materiálovým vlastnostiam poskytujú stabilné, čisté a odolné reakčné prostredie pre základné procesy, ako je leptanie čipov, nanášanie tenkých{2}} filmov (CVD/PVD) a iónová implantácia. Ich výkon priamo ovplyvňuje presnosť procesu, výnos výroby a prevádzkové náklady zariadenia.

Výkon produktu

• Výnimočná plazmová odolnosť proti korózii: Počas procesov leptania a CVD sa komory plnia vysoko{0}}energetickými, vysoko reaktívnymi plazmami (napr. na báze fluóru- alebo chlóru-). Keramika z oxidu hlinitého s vysokou-čistotou vykazuje extrémnu chemickú inertnosť a účinne odoláva bombardovaniu a chemickej erózii z takejto plazmy.
• Výnimočná čistota a nízka kontaminácia: Vysoká čistota keramiky s obsahom 99,9 % oxidu hlinitého-a dokonca keramiky s obsahom oxidu hlinitého s obsahom 99,99 %-zaisťuje minimálne uvoľňovanie kovových iónov (napr. Na, K, Fe) alebo iných nečistôt pri vysokých-teplotách a podmienkach plazmy.
• Vynikajúca vysoká-stabilita pri vysokej teplote a nízka rýchlosť uvoľňovania plynov: Keramika z oxidu hlinitého odolná voči vysokým-teplotám{2}} si zachováva-dlhodobú stabilitu pri teplote 1600 stupňov . Ich relatívne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti má za následok minimálnu deformáciu pri opakovanom tepelnom cyklovaní.
• Výnimočná mechanická pevnosť a tuhosť: Napriek tomu, že ide o keramiku,-oxid hlinitý s vysokou čistotou vykazuje vynikajúcu pevnosť v ohybe a tvrdosť (tvrdosť podľa Mohsa 9, druhá po diamante). Odoláva mechanickému namáhaniu a montážnym zaťaženiam, čím zaisťuje štrukturálnu integritu komory.
• Vynikajúce izolačné vlastnosti: Ako vynikajúci elektrický izolátor účinne izoluje plazmu od kovových dutín, čím pomáha pri presnej kontrole morfológie a distribúcie plazmy.
• Odolnosť voči tepelným šokom: Vďaka optimalizovanému zloženiu materiálu a mikroštruktúrnemu riadeniu vykazuje moderná štrukturálna keramika z oxidu hlinitého zvýšenú odolnosť voči teplotným šokom, čo im umožňuje odolávať rýchlym teplotným výkyvom počas spracovania a znižuje riziko praskania.

Aplikácia produktu

• Ochrana hlavnej komory: Zabraňuje tomu, aby sa vedľajšie produkty reakcie generované počas procesu (ak ide o filmové materiály a častice vedľajších produktov) priamo usadzovali na drahých a ťažko{0}}{1}}čistiteľných stenách komory a kritických komponentoch, čím sa výrazne predlžuje životnosť hlavného zariadenia a znižujú sa náklady na údržbu.
• Udržujte čistotu procesu: Znížte zdroje častíc v komore zachytením kontaminantov a vedľajších produktov. Keď sú povrchy vložiek nadmerne zhrubnuté alebo silne kontaminované, môžu byť priamo vymenené, čím sa rýchlo obnoví čistota komory a zabezpečí sa výťažnosť produktu.
• Optimalizácia výkonu procesu: Určité vložky (ak sú platne na distribúciu plynu) sa priamo zúčastňujú procesu a zabezpečujú rovnomernú distribúciu reakčných plynov v komore. To zaručuje rovnomernosť nanášania filmu alebo leptania.

kontrola kvality

Certifikáty a vyznamenania

továrenská sila

Naše digitálne workshopy, inteligentná továreň a systémy{0}}na získavanie údajov v reálnom čase využívajú princípy štíhlej výroby na minimalizáciu odpadu a maximalizáciu efektívnosti zdrojov. Začlenením technológie CNC obrábania, technológie priemyselného internetu vecí (IIoT) a automatizovaných riadiacich systémov dosahujeme bezproblémovú konektivitu a spoluprácu medzi výrobnými zariadeniami, čím maximalizujeme výrobné úspory.